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高精密气浮转台
高精密气浮转台 CD220-AIR
    基于气体润滑的超精密转台可提供高的刚度和高承载负载能力,不仅具有极小的轴向和径向运动误差,还有最小化的角摆误差,综合性能明显优于其他结构类型的旋转平台。气浮转台可由力矩电机或无齿槽无刷力矩电机直接驱动,刚性耦合,没有柔性环节,无齿槽力矩电机没有齿槽效应引起的力矩波动,具有极高的带宽和超平滑的速度轨迹,特别适用于低速稳定运行、精度要求极高的场合。由于气浮轴承几乎不存在摩擦力矩,轴承内部剪切力极低,高速旋转时,可将动力损失降到最低,且产生的热量非常小,因此,采用气浮轴承可实现超高速旋转运动,其最高转速可达30
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DR100UP-AIR图纸.jpg

规格参数.jpg

D系列精密转台具有定位精度高、速度运行平滑稳定和轴向和径向跳动小等优点。可应用于光学检测计量领域如精密圆度圆柱度仪、测角仪,x射线衍射系统、硅片精密检测、光学检测等;超精密加工领域如激光加工、激光衍射系统、纳米制造、超精密磨削加工、微机电系统/纳米器件的制造等。还可应用于传感器和光学设备对方位角和仰角值进行自动检测,方位校准,激光束指引,目标捕获及跟踪,照相机和光电望远镜的扫描和定位等。

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